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美国METONE 3411便携式空气颗粒计数器

  • 产品型号:METONE 3411
  • 库存状况:按合同发货
  • 配送方式:快递、EMS、物流

24小时全国服务热线: 13671068345

产品详情

MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有业界领先的 ISO 21501 数据准确性和再现性,是业内最洁净的 0.1um 便携式空气颗粒计数器。


便携式空气颗粒计数器|选择 MET ONE 3411 的优势所在

  • 可让您的洁净室保持洁净
    0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
  • 热插拔电池-百分百确保仪器长时间连续运行
    由于仪器使用的是热插拔电池,故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
  • 测试向导(Test Wizard)能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
    可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误
  • 顺序采样系统
    可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
  • 灵活的通讯方式——设置简单,数据传输方便
    供选择的无线,以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统,或者客户已有监控软件,以便减少文书工作
  • 直观的用户界面
    简便的区域,位置和运行参数的配置和复制,节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中,从而消除参数设置错误,并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划!
  • 符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
    专用于满足特殊颗粒计数要求,仪器与仪器之间的准确度和再现性完全符合 ISO21501-4标准要求。


产品参数

通道个数  6
 粒径  0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
 光源  氦氖激光器
 重量  不含电池:15.9 公斤,电池:0.66 公斤
 尺寸  33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
 机箱材质  便于清洗的钝化不锈钢
 流速  1.0 CFM (28.3 LPM)
 零计数  ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
 符合损失  在 50,000 /ft3 时,为5%,符合ISO 21501-4标准
 泵的类型  可供连续使用的专利的多瓣闭路循环控制泵
 计数效率  在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921,粒径大于0.15µm时为 100%
 运行温度  10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%,无冷凝
 显示  ¼ VGA 彩色 TFT 触摸屏
 打印机  高速热敏打印机
 语言  英语,法语,德语,意大利语,西班牙语,韩语*,日语*,中文
 可以显示的最大数值  9,999,999 displayed
 延迟时间  15秒钟至23小时59分59秒
 采样/停留时间  1秒钟至23小时59分59秒
 计数警报  1~ 9,999,999 个计数值
 位置  编号:0 至 999; 名称:文字描述,显示在打印输出资料上
 数据存储  5,000 个样品, 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
 输出  USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (警报和扫描探头)
 锂电池,可充电、可热插拔  Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
 输入  空气速度探头,相对湿度/温度探头
 自动 CDA 清洗  连接到CDA之后,清洗电磁阀会被激活
 电源  24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
 电池类型  智能锂电池,可充电,可热插拔
 电池使用时间   最短 3 小时
 电池的充电时间  电池的充电时间
 包含电池数量  2组

MET ONE 3411 便携式空气颗粒计数器的随附配件

 部件编号  描述
 2087966-01  等动力探头1.00 CFM,镀镍铝制3/8“倒钩接头
 960380  样品管,内径 3/8” ,长 10英尺
 2088035-01  等动力探头适配器,铝制
 970650  等动力探头三脚架
 230-300-7052  24VDC电源输出
 VP623500  电源线:115VAC, 6' L
 VP623501  电源线:115VAC, 6' L
 2087939-01  零计数过滤器 1CFM
 2087090  PortAll 软件,CD
 460519  打印纸,2卷
 280-120-2024  2组锂电池
 210-400-5171  触摸屏手写笔
 2088010-01  128M USD闪存驱动
 410-150-0011  3针微型接线端子
 410-420-0020  接线端子罩壳
 490-200-0001  无线天线,附带无线版本P / N 2088800-02

MET ONE 3411 便携式空气计数器可选配件

 部件编号  描述
 CAL_GAS_3411  3411型的气体校准,包括氦、氩、二氧化碳和氮气
 701241-01  3400系列IQ / OQ 验证文件(CD)
 2087966-02  等动力探头1.0 CFM,不锈钢制3/8“倒钩接头
 2089406-01  等动力探头支架
 460519  打印纸(价格以每卷计)
 280-300-5000  智能电源充电器
 280-120-2024  智能锂电池
 2088928  温度和相对湿度探针VAISALA HMP50
 2087939-01  零点计数过滤器(1.0 CFM型)
 460-400-4798  电缆,USB2.0 高速,1m
 2084045-02  Particle Vision PortAll, 2.0.x版,套件,下载工具软件,适配器和说明书(串行电缆需单独购买)
 700011-21  PortAll 许可标准版
 2088000-01  过滤器扫描探头(电子式)1 CFM
 2088000-02  过滤器扫描探头(无电子式)1 CFM
 2088012-02  适配器,USB转RS232,USB线缆
 2088012-01  适配器,USB转RS485,USB线缆
 2080732-8  高压扩散器,用于 1.0 CFM 设备。


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